Edwards Trockenölfreie Scroll-Boosterpumpe XDS100B. Förderleistung: ca. 95 m³/h (ca. 56 cfm). Enddruck: < 8 × 10³ mbar (ca. 6 × 106 Torr). Maximaler Dauereingangsdruck: Typischerweise = 20 mbar. Leistungsaufnahme: ca. 1,3kW. Einlass-/Auslassanschlüsse: KF